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Nichtmagnetische Antriebe zum Positionieren im Ultrahochvakuum

Bei den Picomotor-Aktuatoren der Serie 83xx-UHV-NM handelt es sich um leistungsfähige Antriebe für das hochpräzise Positionieren im Ultrahochvakuum bis 10-9 Torr. Mit Verstellwegen von 12,7 oder 25,4 mm und Schrittweiten kleiner als 30 nm eignen sich die nicht magnetischen Antriebe auch gut für Anwendungen, die eine niedrige magnetische Suszeptibilität und Permeabilität erfordern. Dank der Kapton-Isolierung der Drähte können die Antriebe in Umgebungen verwendet werden, die eine sehr hohe Strahlungsbeständigkeit erfordern. Konstruktionsbedingt bewegen sich Picomotoren nur, wenn Spannung auf die Piezokeramik des Antriebs angelegt wird. Die Picomotoren können Stellkräfte bis zu 22 N aufbringen.

 

Newport Spectra-Physics GmbH

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